芯片是信息行業(yè)最核心和最重要的組成部分,是中國(guó)智造的靈魂。在半導(dǎo)體芯片制造技術(shù)中,通過(guò)一系列的光刻、刻蝕、沉積、離子注入、研磨、清洗等工藝形成具有各種功能的半導(dǎo)體芯片,會(huì)產(chǎn)生大量的廢水。廢水的污染物種類(lèi)包括氟化物、酸堿廢液、有機(jī)廢液、重金屬離子污染物等,腐蝕性和毒性都很強(qiáng)。
經(jīng)過(guò)對(duì)生產(chǎn)工藝的深度分析,我司將廢水分為含氟廢水、含氨廢水、CMP研磨廢水、重金屬?gòu)U水等多路廢水,針對(duì)各路廢水水質(zhì)不同,單獨(dú)設(shè)計(jì)處理工藝。通過(guò)有效的預(yù)處理措施,實(shí)現(xiàn)各類(lèi)廢水的達(dá)標(biāo)處理和中水回用等資源化利用。
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